等離子清洗機應(yīng)用于當(dāng)代半導(dǎo)體、薄膜/厚膜電路等行業(yè)在元件封裝前、芯片鍵合前的二次精密清洗工藝,等離子清洗機不僅提升了產(chǎn)品工藝要求,還節(jié)省人工成本,提升了效率,利用等離子清洗機可以清洗產(chǎn)品不均勻的問題,并且有效改善和提升封裝行業(yè)中的沾污能力不足問題。
等離子清洗機(Plasma Cleaner)又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合,通過等離子清洗機的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂.
離子清洗機處理半導(dǎo)體封裝
(1) 優(yōu)化引線鍵合(打線),微電子器件的可靠性有決定性影響,采用等離子清洗機有效去除鍵合區(qū)內(nèi)表面污染并使其表面活化,提高引線鍵合拉力。
(2) 芯片粘接前處理,對芯片與封裝基板的表面采用等離子清洗機有效增加其表面活性,改善粘接環(huán)氧樹脂在其表面的流動性,提高芯片和封裝基板的粘結(jié)浸潤性,減少芯片與基板的分層,改善熱傳導(dǎo)能力,提高IC封裝的可靠性、穩(wěn)定性,增加產(chǎn)品的壽命。
(3) 倒裝芯片封裝,提高焊接可靠性,采用等離子體清洗機可達(dá)到引線框架表面超凈化和活化的效果,成品良率比傳統(tǒng)的濕法清洗會極大的提高。
(4) 陶瓷封裝,提高鍍層質(zhì)量,陶瓷封裝中通常使用金屬漿料印制線路板作鍵合區(qū)、蓋板密封區(qū)。在這些材料的表面電鍍Ni、Au前采用等離子體清洗機,可去除有機物鉆污,明顯提高鍍層質(zhì)量。