PDMS材料表面處理，等離子清洗機(jī)提升鍵合封裝效果，等離子鍵合可以用于微流控芯片制造。為了將PDMS芯片長(zhǎng)久地粘合到載玻片上,使用等子清洗機(jī)來改變玻璃和PDMS的表面特性。等離子體清洗機(jī)的處理將改變表面化學(xué)特性并允許PDMS與通道粘在其他基板( PDMS或玻璃)上。
等離子清洗機(jī)（Plasma Cleaner）又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合，通過等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂.
等離子清洗機(jī)典型的應(yīng)用：
引線鍵合倒裝芯片底部填充，器件的封裝和解封
光刻膠灰化、除渣、硅片清洗
PDMS/微流控/載玻片/芯片實(shí)驗(yàn)
去除的掃描電鏡/電鏡樣品上碳?xì)湮廴疚?/span>
改善金屬與金屬或復(fù)合材料的結(jié)合
改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘接
等離子清洗機(jī)活化設(shè)備，應(yīng)用于電子行業(yè)的手機(jī)殼印刷、涂覆、點(diǎn)膠等前處理，手機(jī)屏幕的表面處理；連接器表面清洗；通用行業(yè)的絲網(wǎng)印刷、轉(zhuǎn)移印刷前處理等。