微波等離子清洗機(jī)采用高密度微波等離子清洗技術(shù),用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔和等離子體預(yù)處理,微波等離子清洗機(jī)具有高度活性、高效,且不會對電子裝置產(chǎn)生離子損害。
·其它等離子體系統(tǒng)應(yīng)用
等離子清洗機(jī),等離子去膠機(jī)
1 等離子表面活化/清洗 5.等離子涂鍍(親水,疏水)
2.等離子處理后粘合 6.增強(qiáng)邦定性
3. 等離子蝕刻/活化 7.等離子涂覆
4. 等離子去膠 8.等離子灰化和表面改性,等離子接枝聚合等場合