等離子清洗機(jī)的活化的原理是：工藝部件表面通過(guò)氧氣或空氣處理后，會(huì)在表面形成氧原子團(tuán)，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。
等離子清洗機(jī)（Plasma Cleaner）又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合，通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂.
等離子清洗機(jī)的材料表面活化的應(yīng)用是很多的，如粘接，上膠，印刷，上漆，涂裝等等， 等離子清洗機(jī)不分處理對(duì)象的基材類型，幾何形狀均可進(jìn)行處理，對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物、微流控芯片PDMS鍵合、ITO、FTO、SEBS、硅片、二氧化硅、高分子材料、石墨烯粉末、金屬氧化物粉末等都能很好地處理，等離子清洗機(jī)可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗、活化、改性、刻蝕。
PDMS基體等離子體清洗機(jī)處理提升鍵合工藝效果
等離子清洗機(jī)處理是在真空狀態(tài)下高頻發(fā)生器將氣體電離產(chǎn)生等離子體(物質(zhì)第四態(tài))進(jìn)行表面活化改性處理的工藝。等離子體是由部分電子被剝奪后的原子以及原子被電離所產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)它是除固、液、氣外物質(zhì)存在的第四態(tài)。這些高度活躍微粒子和被處理的材料表面發(fā)生作用，使惰性的聚合物表面活化提升其親水性，增強(qiáng)界面的交互作用且使單層分子更容易擴(kuò)散到其表面，使PDMS基體表面得以改性*終實(shí)現(xiàn)其與多種材料鍵合。