等離子清洗機(jī)利用等離子體的物理和化學(xué)特性，在材料表面形成致密的物質(zhì)層或含氧基團(tuán)，是材料表面特性發(fā)生變化，提高表面親水性、粘接性等，等離子清洗機(jī)用于半導(dǎo)體集體電路行業(yè)去除有機(jī)污染物
等離子清洗機(jī)應(yīng)用于當(dāng)代半導(dǎo)體、薄膜/厚膜電路等行業(yè)在元件封裝前、芯片鍵合前的二次精密清洗工藝，等離子清洗機(jī)不僅提升了產(chǎn)品工藝要求，采用等離子清洗機(jī)可以清洗產(chǎn)品不均勻的問(wèn)題，并且有效改善和提升封裝行業(yè)中的沾污能力不足問(wèn)題。
等離子清洗機(jī)（Plasma Cleaner）又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合，通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂.
等離子清洗機(jī)器除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能，等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組，形成新的表面特性。對(duì)某些有特殊用途的材料，在超清洗過(guò)程中等離子清洗機(jī)器的輝光放電不但加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和浸潤(rùn)性。等離子清洗機(jī)對(duì)各種幾何形狀，表面粗糙程度各異的金屬，陶瓷，玻璃，硅片，塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和改性，完全徹底地去除樣品表面的有機(jī)染物。等離子清洗機(jī)器廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。