在微電子封裝的生產(chǎn)過程中,由于各種指紋、助焊劑、交叉污染、自然氧化、器件和材料會形成各種表面污染,包括有機物、環(huán)氧樹脂、光阻劑和焊料、金屬鹽等。這些污漬會對包裝生產(chǎn)過程和質(zhì)星產(chǎn)生重大影響。等離子清洗機的使用可以很容易地通過在污染的分子級生產(chǎn)過程形成的去除,保證原子和原子之間的緊密接觸工件表面附著,從而有效提高粘接強度,改善晶片鍵合質(zhì)量,降低泄漏率,提高包裝性能、產(chǎn)量和組件的可靠性。小銀膠村底∶污染物會導致膠體銀是球狀,不利于芯片粘貼,容易刺傷導致芯片手冊,等離子清洗機的使用可以使表面粗糙度和親水性大大提高,有利于銀膠體和瓷磚粘貼芯片,同時使用量可節(jié)省銀膠,降低成本。
封膠∶在環(huán)氧樹脂過程中,污染物會導致泡沬起泡率高,導致產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命低,所以為了避免密封泡沫的形成過程中也關(guān)注。等離子體清洗機處理后芯片與基板的將與膠體的結(jié)合更加緊密,形成的泡沫將大大減少,同時也將顯著提高散熱率和光發(fā)射率。引線鍵合∶芯片接合基板之前和高溫固化后,現(xiàn)有的污染物可能含有微顆粒和氧化物,這些污染物的物理和化學反應(yīng)鉛和芯片與基板之間的焊接不完整啊粘結(jié)強度差,附著力不夠。
在引線鍵合前,等離子體清洗機能顯著提高表面活性,提高鍵合線的結(jié)合強度和抗拉強度。對焊接頭的壓力可低(當有污染物,焊頭穿透污染物,更大的壓力的需要),在某些情況下,鍵合溫度也可以降低,從而提高生產(chǎn)和降低成本。
等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合,通過等離子清洗機的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂.