等離子清洗機(jī)主要適用于各種材料的表面改性處理∶表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合以及等離子體輔助化學(xué)氣相沉積。
等離子清洗機(jī)的表面改性:紙張粘合,塑料粘接、金屬錫焊、電鍍前的表面處理;等離子清洗機(jī)的表面活化:生物材料的表面修飾,印刷涂布或粘接前的表面處理,如紡織品的表面處理;等離子處理機(jī)表面刻蝕:硅的微細(xì)加工,玻璃等太陽(yáng)能領(lǐng)域的表面刻蝕處理,醫(yī)療器皿表面刻蝕處理;等離子清洗設(shè)備的表面接枝:材料表面特定基團(tuán)的產(chǎn)生和表面活化的固定;等離子處理設(shè)備的表面沉積:疏水性或親水性層的等離子體聚合沉積;
等離子清洗機(jī)(Plasma Cleaner)又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合,通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂.
等離子清洗機(jī)屬于干式清洗設(shè)備,可以省去濕化學(xué)加工過(guò)程中不可缺少的干燥,污水處理等過(guò)程,與其他處理方法相比,等離子清洗機(jī)既能改變材料表面性質(zhì),又可以不分處理對(duì)象,可以接觸多種材料,無(wú)論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物、聚合物等。
等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料及污染治理等多種領(lǐng)域,是企業(yè)、科研院所進(jìn)行等離子體表面處理的理想設(shè)備。